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KAGATECHNO石英在線加熱器：半導體藥液循環(huán)
發(fā)布時間： 2026-02-06 點擊次數(shù)： 21次1. 產品定位日本加賀テクノ（KAGATECHNO）石英在線加熱器，專為半導體濕法工藝中藥液循環(huán)加熱設計，適用于氨水過氧化物（SC-1）、磷酸等腐蝕性藥液，應用于氮化硅刻蝕及擴散前清洗工序。2. 核心技術- Inconel網(wǎng)目發(fā)熱體：鎳鉻鐵合金直接熔接于石英筒外壁，耐腐蝕、抗空燒，解決傳統(tǒng)繞線加熱器斷線及氣囊積聚導致的局部過熱問題
- 石英雙重管結構：內管走藥液（零金屬污染），外管包裹發(fā)熱體，即使外管破損也不污染藥液
- 阻燃FRPP外殼：內置溫度監(jiān)測，過熱自動保護
3. 關鍵參數(shù)指標 參數(shù) 功率 2.2/4.4/6.5kW 電壓 單相200V 溫度 室溫～160℃ 適用藥液 SC-1、磷酸 接頭 3/4英寸石英法蘭 4. 應用價值直通式結構無液滯留，在線串聯(lián)于循環(huán)回路實現(xiàn)精準溫控。相比投浸式加熱器，支持不停機維護，熱響應更快，是RCA清洗及氮化硅刻蝕等關鍵工序的高可靠性加熱解決方案。
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