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技術(shù)文章ARTICLE
Techvision UVC-200/300：365nm水冷UV-LED晶圓固化系統(tǒng)的低溫固化技術(shù)突破
發(fā)布時間： 2026-02-06 點擊次數(shù)： 21次產(chǎn)品定位日本Techvision推出的UVC-200/300系列，是專為半導(dǎo)體晶圓UV膠帶剝離工藝設(shè)計的桌面型UV-LED固化裝置。UVC-200對應(yīng)8英寸晶圓，UVC-300對應(yīng)12英寸晶圓，另提供全自動Cassette-to-Cassette機(jī)型（UVC-200A/300A）。2. 核心技術(shù)創(chuàng)新- 365nm單波長冷光源：采用水冷散熱高功率LED驅(qū)動，輸出250mW/cm2，消除傳統(tǒng)汞燈的紅外熱輻射，實現(xiàn)真正的常溫照射，保護(hù)熱敏晶圓
- 往復(fù)掃描曝光：光源橫向掃描+晶圓旋轉(zhuǎn)，確保全區(qū)域光照均勻，避免局部欠固化
- 低耗N?吹掃：內(nèi)置自動氮氣置換，抑制氧氣阻聚，氣體消耗量比傳統(tǒng)系統(tǒng)降低30%
3. 關(guān)鍵參數(shù)指標(biāo) 參數(shù) 光源波長 365nm 照射強(qiáng)度 250mW/cm2（距工件10mm） 支持晶圓 200mm/300mm 冷卻方式 水冷+風(fēng)冷 光源壽命 >20,000小時 手動型尺寸 750×640×575mm 4. 應(yīng)用價值針對晶圓減薄/切割后的UV膠帶光降解工藝，實現(xiàn)芯片無損拾取、無殘膠剝離。相比2kW高壓汞燈，LED方案啟動瞬間完成、能耗降低60%以上、無汞環(huán)保、光源冷態(tài)可維護(hù)，是半導(dǎo)體后道制程光固化的技術(shù)換代方案。
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