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    “微米級重復(fù)精度 + 零經(jīng)驗(yàn)上手”日本 Mitsuiec 三井電氣 TC-3S 自動(dòng)涂布機(jī)

    發(fā)布時(shí)間: 2025-12-08  點(diǎn)擊次數(shù): 105次
    在鈣鈦礦太陽能電池、柔性印制電子、功能性薄膜等研發(fā)場景里,涂布工藝往往決定了膜厚均勻性、界面缺陷密度乃至最終器件效率。日本 Mitsuiec(三井電氣)推出的 TC-3S 型桌上自動(dòng)涂布機(jī),以“微米級重復(fù)精度、一鍵式程序、模塊化治具"三大賣點(diǎn),讓實(shí)驗(yàn)室涂布從“手藝活"變成“標(biāo)準(zhǔn)化流程"。本文結(jié)合技術(shù)資料與實(shí)測案例,對 TC-3S 的核心結(jié)構(gòu)、控制邏輯與典型應(yīng)用進(jìn)行系統(tǒng)梳理,為準(zhǔn)備升級涂布平臺(tái)的研發(fā)人員提供一份“選型 + 工藝"參考。
    一、機(jī)械結(jié)構(gòu):輕量化高剛性導(dǎo)軌 + 無間隙滾珠絲杠
    1. 全鋁一體龍門
      框架采用 6061-T6 擠壓鋁整體加工,重量僅 28 kg,但平面剛性提升 30%,長期運(yùn)行無扭轉(zhuǎn)變形,保證 200 mm 涂布寬度內(nèi)直線度 ≤ 3 µm。
    2. 無間隙滾珠絲杠 + 伺服電機(jī)
      日本 NSK C3 級絲杠,配合 0.36° 步距角伺服電機(jī),理論定位分辨率 0.25 µm;實(shí)測 50 mm 往返 1 000 次,定位 3σ 重復(fù)精度 1.2 µm,滿足鈣鈦礦 50–200 nm 精度窗口。
    3. 可升降真空板
      陽極氧化真空平臺(tái),孔徑 0.8 mm、孔距 5 mm,真空分區(qū) 2 × 2 獨(dú)立開關(guān);Z 軸 0–30 mm 電動(dòng)升降,適配玻璃、PET、銅箔等不同厚度(50 µm–3 mm),一鍵找平,避免“楔形膜"。
    二、涂布頭系統(tǒng):即插即用,三種模式 5 分鐘切換
    1. 狹縫擠出(Slot-die)
      不銹鋼 316L 噴頭,唇口直線度 ±1 µm,墊片厚度 50–300 µm 可選;配合 0.1–3 mL/min 精密齒輪泵,濕厚 5–150 µm,誤差 ±1.5 %。
    2. 刮刀(Doctor blade)
      快速夾持結(jié)構(gòu),0–3 mm 高度千分尺調(diào)節(jié),重復(fù)精度 ±2 µm;可選 PTFE、不銹鋼或鎢鋼刀片,滿足溶膠-凝膠、陶瓷漿料等不同剪切需求。
    3. 線棒(Wire-wound bar)
      標(biāo)配 #6–#40 線棒庫,4 s 完成磁吸式更換;與真空平臺(tái)同步升降,保證線棒與基材“零壓"接觸,消除手動(dòng)刮痕。
    三、控制與軟件:5 寸觸控 + 15 組程序 + 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
    1. 速度閉環(huán)
      采用 40 kHz 編碼器反饋,速度范圍 1–100 mm/s,分辨率 0.1 mm/s;實(shí)測 20 mm/s 勻速段波動(dòng) < 0.5 %,杜絕“起步堆料、終點(diǎn)拉薄"。
    2. 一鍵程序
      內(nèi)置“鈣鈦礦 / 銀漿 / 保護(hù)膜"等 15 組模板,自動(dòng)匹配加速度、真空保持與干燥延時(shí);新手 5 min 完成首片涂布,良率 > 95 %。
    3. 數(shù)據(jù)追溯
      USB 口可導(dǎo)出 CSV,記錄速度、真空度、涂布長度、時(shí)間戳,方便與 SEM、臺(tái)階儀結(jié)果關(guān)聯(lián),建立工藝-性能數(shù)據(jù)庫。
    五、關(guān)鍵規(guī)格一覽
    • 涂布面積:200 mm × 300 mm
    • 速度范圍:1–100 mm/s,分辨率 0.1 mm/s
    • 重復(fù)定位精度:±1.2 µm(3σ)
    • 真空平臺(tái):2 區(qū)獨(dú)立,孔徑 0.8 mm,真空度 ?65 kPa
    • 涂布頭快換:≤ 5 min
    • 電源:AC 100–240 V,150 W,桌上型
    • 外形 / 重量:420 × 380 × 220 mm,28 kg
    • 安全:前門磁控開關(guān),急停按鈕,CE 認(rèn)證
    六、維護(hù)與升級
    • 日常清潔:真空板陽極氧化層耐丙酮、DMF、NMP,實(shí)驗(yàn)后 30 s 擦拭即可;
    • 校準(zhǔn)周期:建議 3 個(gè)月做一次“空走基準(zhǔn)"+“臺(tái)階儀對標(biāo)",軟件自帶校準(zhǔn)向?qū)В?0 min 完成;
    • 升級路徑:可選配加熱板(RT–120 °C)、UV 固化模塊、手套箱法蘭接口,實(shí)現(xiàn)“涂布-干燥-固化"一體化。
    結(jié)語TC-3S 把“高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái) + 模塊化涂布頭 + 工藝模板"封裝到一臺(tái) 28 kg 的臺(tái)式機(jī)里,讓涂布工序從“老師傅手感"升級為“可重復(fù)、可追溯、可放大"的標(biāo)準(zhǔn)工藝。對于需要快速驗(yàn)證新材料膜厚-性能關(guān)系、又受限于實(shí)驗(yàn)室空間的科研團(tuán)隊(duì)來說,TC-3S 無疑是一把“零學(xué)習(xí)成本"的利器,也是邁向卷對卷中試前的數(shù)據(jù)發(fā)生器。


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